紫外臭氧清洗機（UVOzone Cleaner, UVO），是一種簡單，經(jīng)濟，快速高效的材料表面清洗設(shè)備，能快速去除大多數(shù)無機基材（比如石英，硅片，金，鎳，鋁，砷化鎵，氧化鋁等）表面上的有機污染物。